山东凯恩真空技术有限公司
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半导体行业真空解决方案：凯恩助力芯片制造提质增效
发布时间：2025-04-11 09:36:40 人气：106 来源：本站
一、芯片制造对真空技术的特殊要求
超高真空度（1×10⁻⁷Pa级技术指标）
防微振设计（凯恩半导体专用真空泵）
材料超高洁净标准
二、凯恩技术突破亮点
磁悬浮轴承技术实现零污染
模块化设计快速响应工艺变更
与中芯国际/长江存储等头部企业合作案例
三、行业趋势与未来布局
第三代半导体材料加工配套方案
真空系统AI预测性维护系统开发进展
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