一、概述 Summary： 

干式螺杆真空泵，是利用一对平行的螺杆，制成在泵壳内同步、高速、反向旋转的转子， 转子与泵体内壁形成多个密封空间，转动过程中，形成对气体的持续传送，从而达到吸、排 气的目的。

螺杆真空泵结构简单，但是加工工艺要求较高，必须保证转子间的高度平行，以及转子 间和转子与泵体内壁之间，既保持极小的间隙又不能接触产生摩擦，从而在不需要用油来润 滑和密封的情况下，保证实现气体传送，并能减少气体回流。

这就要求整个产品从选材到加工，都必须是最高标准。因为要求各部件之间间隙很小， 所以必须保证螺杆，泵体材质不易形变，特别是在温度变化到一定数值时，也不能因形变而 出现抱死现象。选择材料特殊处理，同时保证各部件精细加工，两螺杆除需精细加工，并做 动平衡校正，轴端轴承必须是高品质特种轴承，既要保证螺杆转子平行度且不易发生细微移 位，同时保证转动顺滑，并不受温度和其他因素影响。保证真空泵工作时，彼此之间间隙小 而无摩擦，运行平稳，振动小，噪音低，节约能源，延长使用寿命，特殊螺杆结构，能够持 续推动气流而无压缩，排气口低于螺杆位置，排液能力强，易于清洗，且泵腔短通道短，无 隔板，排气、排液通畅，所以工作效率高，超强吸气，大大提高泵的极限真空度，可以提供≤5Pa 甚至接近 1Pa 高真空；工作腔内无须润滑，没有污染，可以提供清洁真空，无需担心 回流污染，抽取物也可以直接回收利用，或排放，没有环保压力。精心的设计，简单的结构， 精密的加工，使得它使用更方便，维修保养更简单，被很多行业用户青睐。它用途广泛，不 仅可以抽取可凝性气体，也能抽取含有大量水蒸气及少量粉尘的气体。特殊处理过流面，也 可以用于抽取具有一定腐蚀性的气体，更是成为油气回收，溶媒回收，特气回收等行业的专 用产品。

二、干式螺杆真空泵的优点和缺点

优点 

1、清洁环保，工作腔无润滑油，有利于介质回收，可获得清洁真空，无费油、废水排放， 对环境无污染。

2、真空度较高，极限真空度≤1Pa，高真空区域抽气量大。

3、防腐可选设计，过流件有钛材、不锈钢、纳米陶瓷、喷涂 NIP 合金等多种材质及防腐镀 层可供选择。

4、可抽除可凝气体及少量粉尘气体，设计自动吹扫装置。

5、特殊轴封设计，杜绝被抽介质与润滑油互相污染。

6、变螺距螺杆泵节能、噪音低。

7、运转平稳，转子做精细动平衡试验，运转振动小。

8、配置高，密封德国，轴承 SKF/NSK，齿轮 5 级磨齿。

缺点

1、由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。

2、不适于抽除含有爆炸性的气体。

3、不适于抽除含氧过高的气体。

三、螺杆真空泵技术参数

螺杆真空泵，可根据用户需求配置，也可采用高配置防爆电机，由于其具有低噪音、无 油无污染、清洁高真空、使用、操作和维护简单方便等特点，广泛应用于油气回收、真空镀 膜、生物医药、食品加工、单晶炉、真空成型、真空熔炼、电子光伏、半导体合成和许多其 他行业。既可以做单泵使用，也可以与其他泵配成机组。

我公司生产的干式无油螺杆真空泵按抽真空率分为风冷和水冷两种，有多种型号供您选择。

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